Ultra High Vacuum Mechanical Booster Pump

Ultra High Vacuum (UHV) vélrænar örvunardælur (Roots Booster Pumps) auka gasafköst í lágþrýsti lofttæmiskerfum þar sem krafist er mikillar dælingargetu og hraðs dælu-stopptíma.
Virkar samhliða samhæfri bakdælu (svo sem þurrtómdælu eða snúningsdælu) notar örvunarvélin jákvæða-tilfærslu vélrænni aðgerð til að flytja gas frá hlið hólfsins yfir á bakþrepið. Þetta eykur verulega virkan dæluhraða á meðal til ofur-háum lofttæmisþrýstingssviði.

Tæknilýsing

Parameter	Forskrift / Valkröfur	Verkfræðisjónarmið
Vörutegund	UHV vélrænni örvunardæla (rótarreglan)	Jákvæð-tilfærsla með miklum-afköstum
Flansstaðlar	ISO-K / ISO-F, CF flansar eða sérsniðnar	Valið byggt á leiðni og UHV innsigli
Dæluhraðasvið	Líkan-háð (sjá frammistöðuferla)	Verður að reikna út ásamt kerfislínuleiðni
Rekstrarþrýstingur	Medium Vacuum til Ultra High Vacuum (UHV)	Stjórnast af algerri dælulest og losun hólfa
Stuðningsdælusamsvörun	Þurrdæla, snúningsvír eða snúningsstimpill	Bakgeta verður að passa við losunarflæði örvunar
Hámarks mismunaþrýstingur	Líkan-sérstök leyfileg þrýstingsmörk (Delta P max)	Kemur í veg fyrir hitauppstreymi og vélrænt álag
Tómarúm-Hliðarefni	Ryðfrítt stál, meðhöndluð málmblöndur, sérstök húðun	Lágt útgashraði og efnaþol
Innsiglunarstillingar	Teygjanlegt (FKM/FFKM) eða málmþéttingar (CF)	Valið út frá helíum lekahraða og bakeout mörkum
Lekahlutfall helíums	Allt að 1 x 10^-10 mbar L/s	Staðfest með massarófsmæli lekaskynjara

Leiðbeiningar um val og samþættingu

Til að velja réttu Roots örvunardæluna og tryggja hnökralausa samþættingu við lofttæmiskerfið þitt, metið eftirfarandi notkunarpunkta:
Dæluhraði og markþrýstingur:Reiknaðu nauðsynlegan virkan dæluhraða við inntak hólfsins, að teknu tilliti til leiðni leiðslu.
Gashleðsla og vinnslumiðlar:Þekkja samsetningu vinnslugass, ætandi eiginleika, rykagnir og útgashraða efnis.
Samhæfni við bakdælu:Gakktu úr skugga um að bakdælan höndli losunarrúmmálið án þess að fara yfir hámarks leyfilegan mismunaþrýsting (Delta P max).
Varma- og kerfislæsingar:Stilltu þrýstirofa, drif með breytilegum tíðni (VFD) og kælilæsingar til að forðast vélrænt ofhleðslu meðan á grófgerð stendur.

Dæmigert forrit

Hálfleiðarar og rafeindatækni:Rýmingar- og vinnslugas meðhöndlun fyrir ets, CVD, og lithography stuðningsverkfæri sem krefjast lítillar mengunar.
Þunn-kvikmyndaútfelling og húðun:Viðheldur stöðugum rekstrarþrýstingi við há-afköst PVD, sputtering og ljóshúðunarferli.
Rannsóknarstofur:Hár-áreiðanlegur tómarúmafköst fyrir agnaeðlisfræði, yfirborðsvísindi og geimhermunarklefa.
Tómarúmsofnar og vinnsla:Tekur á skilvirkan hátt við mikið gasálag við afgasun við háan-hita, lofttæmingu og hitameðferð.

Gæðaeftirlit og skjöl

UHV áreiðanleiki krefst strangra framleiðslu- og sannprófunarstaðla:
Hreinherbergisvinnsla:Fjöl-þrepa úthljóðshreinsun, fituhreinsun með leysi og ryk-lausar umbúðir til að tryggja litla útgasun.
Nákvæmni prófun:Kraftmikil snúningsjafnvægi, víddarsannprófun og massarófsmælir, helíumlekaprófun.
Afhending skjala:Líkan-sérstakar dæluhraðaferlar, CAD/STEP útlínur teikningar, rafmagnsforskriftir fyrir mótor, efnisvottorð og lekaprófunarskýrslur.

Algengar spurningar

Sp.: Hvert er aðalhlutverk Ultra High Vacuum Mechanical Booster Dælu?

A: Ofurhá lofttæmi, vélræn örvunardæla eykur virkan dæluhraða og gasafköst í lágþrýstingslofttæmiskerfum. Það flytur gas frá lofttæmishólfinu í átt að bakdælu, sem gerir hraða tæmingu og meiri endanlegt þrýstingsframmistöðu.

Sp.: Getur Roots vélræn örvunardæla starfað sjálfstætt án bakdælu?

A: Nei. Vélræn örvunardæla þarf viðeigandi bakdælu (svo sem þurrdælu eða snúningsdælu) til að losa gas í andrúmsloftsþrýsting.

Sp.: Af hverju ætti ég að forðast að velja örvunardælu sem byggist eingöngu á nafndælingarhraða?

A: Nafndæluhraði táknar ákjósanlega tilfærslu án þess að gera grein fyrir raunverulegu-kerfistapi í heiminum. Raunveruleg frammistaða fer eftir lofttæmi-línuleiðni, getu bakdælunnar, rekstrarþrýstingi og hleðslugasálagi.

Sp.: Hvernig kemur ég í veg fyrir hitauppstreymi meðan á örvunardælu stendur?

A: Komið er í veg fyrir hitauppstreymi með því að halda rekstrarþrýstingi innan leyfilegra mismunamarka (Delta P max). Með því að nota þrýstilokunarventil, breytilegt tíðnidrif (VFD) eða þrýstirofa til að stjórna örvunarræsingu-upp, verndar dæluna gegn of miklu gasálagi.

Sp.: Hvaða varúðarráðstafanir fyrir hreinlæti UHV eru gerðar við framleiðslu?

A: Fyrir UHV-þjónustu fara tómarúmsíhlutir-hliðar í gegnum sérhæfða hreinsunarferla, eins og úthljóðshreinsun, til að eyða kolvetnisleifum.

maq per Qat: vélræn örvunardæla með öfgafullt lofttæmi, Kína öfgafullt lofttæmi vélræn örvunardæla, framleiðendur, birgjar, verksmiðju