InPower Dry Vane Vacuum dæla notuð í hálfleiðara iðnaði til að búa til hreint og þurrt lofttæmi umhverfi. finna fjölbreytt úrval af forritum í hálfleiðaraiðnaðinum vegna hreinleika þeirra, áreiðanleika og skilvirkni. Þessar dælur eru nauðsynlegar fyrir ferla eins og efnagufuútfellingu, eðlisfræðilega gufuútfellingu, jónaígræðslu og ætingu.

Eiginleikar:

Dry vine Vacuum dæla er tegund af lofttæmisdælu sem sameinar kosti þurrskrúfutækni við vatnskælingu til að auka afköst og skilvirkni. Hún býður upp á áreiðanlega, skilvirka og lítið viðhaldslausn fyrir krefjandi tómarúmsnotkun sem krefst bæði þurra notkunar og áhrifarík hitaleiðni.

Gerð: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Fullkomið lofttæmi: Minna en eða jafnt og 1Pa

HRAÐI 50 Hz:30-500 L/s

HRAÐI 60 Hz:36 - 600 L/s

Fyrirmynd			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
HRAÐI (50Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
HRAÐI (50Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
Ultimate Vacuum (50Hz)		Pa	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
Hámarks útblástursþrýstingur		bar	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
POWER (50Hz)		Kw	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
Mótorhraði (50Hz)		snúningur á mínútu	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
Tengdu	IN	mm	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
Tengdu	ÚT	mm	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
Vatn	Flæði	L/mín	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	Þrýstingur	MPa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	Tengdu		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
Kæliaðferð		Loft/vatn	Loft/vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn	Vatn
Hávaði		dB	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
Þyngd		Kg	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
Sérkröfur		Samkvæmt kröfum er hægt að stilla það með breytilegri tíðni, tæringarvörn, sprengivörn osfrv.

inPower Dry Vane Vacuum pump Notkunarsvæði:

Hálfleiðaraframleiðsla:

Í hálfleiðaraframleiðsluferlum eins og CVD, PVD, jónaígræðslu og ætingu, hjálpa vatnskældar þurrskrúfa lofttæmisdælur við að viðhalda nauðsynlegu lofttæmisstigi en bjóða upp á skilvirka hitaleiðni til að tryggja stöðugan árangur.

Þunn filmuútfelling:

Vatnskældar þurrskrúfudælur eru notaðar í þunnfilmuútfellingaraðferðum eins og sputtering og uppgufun, þar sem nákvæm lofttæmisstjórnun og hitastjórnun eru nauðsynleg til að setja einsleitar þunnar filmur á undirlag.

Hitameðferðarferli:

Atvinnugreinar sem taka þátt í hitameðhöndlunarferlum, eins og málmvinnslu og geimferðafræði, treysta á vatnskældar þurrskrúfa lofttæmisdælur til að búa til lofttæmisumhverfi fyrir glæðingu, lóða og aðrar háhitameðferðir á meðan kerfinu er haldið köldum.

Efna- og lyfjavinnsla:

Vatnskældar þurrskrúfudælur gegna mikilvægu hlutverki í efnavinnslu þar sem viðhalda hreinu, þurru lofttæmi er nauðsynlegt fyrir hvarf, eimingu og endurheimt leysiefna.

Rannsóknir og þróun:

Rannsóknastofur og rannsóknaraðstaða í ýmsum atvinnugreinum nota vatnskældar þurrskrúfa lofttæmisdælur til að prófa og gera tilraunir, sem veita áreiðanlegar lofttæmisskilyrði til að rannsaka efni, ferla og búnað.

maq per Qat: þurrt vane tómarúmdæla, Kína þurrt vacuum dæla framleiðendur, birgjar, verksmiðju

Dry Vane Vacuum Pump

inPower Dry Vane Vacuum pump Notkunarsvæði: